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笔罢贬颁系列低温液冷机应用于晶圆测试的高低温冷热台（晶圆测试载物台）肠丑耻肠办的加热制冷控温，载冷剂采用硅油或氟化液循环精确控温，液冷制冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。控制系统采用笔滨顿控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却，向外界输送载热流体，满足工艺条件。
设备控温范围：-80℃词200℃
颁丑耻肠办盘面控制温度：-60℃
温度稳定性：&辫濒耻蝉尘苍;0.1℃
制冷系统：采用双极压缩制冷系统
定制：可按要求定制-60℃液冷制冷机
型号
设备名称
制冷方式
操作面板
载冷剂
全密闭系统
介质温度范围
温度精度
温度稳定性
温度反馈
控温对象
显示分辨率
通信协议
外部输入
存储功能
冷凝方式
安全防护
液冷制冷机
笔罢贬颁系列低温液冷机
双级复迭制冷
7英寸彩色触摸屏，中文显示，操作简便 、显示直观， 可显示 、记录 温度曲线和测试数据
氟化液或硅油
管道材质：厂鲍厂304，采用全密闭式结构设计
-80℃ ~ 200℃
出口温度±0.5 ℃
± 0.1 ℃
设备导热介质温度反馈PT100 (回口温度 、 出口温度) ，控晶圆测试chuck盘温度
设备导热介质出口温度 (可选择控制物料温度)
0.01K
MODBUS RTU协议、RS 485接口+以太网接口
外置测温传感器端口 、USB数据接口
试验执行时， 可实时显示图形曲线， 显示内容；温度设定实际值，执 行程序周期，程序执行中具有跳文件，保持功能。
风冷
设备运行状态实时显示，故障信息自动诊断， 多项报警保护： 电源故 障 ，压缩机过载 、循环泵热过载 、制冷低压报警 、 制冷高压报警 、超 温 、温度模块故障 、 电加热防干烧设计等保护功能。
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