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温湿度调节装置在基板曝光前，能有效维持其表面温度的均一性。经过此设备处理后的空气，温度控制精度可达目标值±0.01℃，充分满足制程环境对温控的要求。

半导体用温控装置产物广泛应用于国内外科学研究和工艺开发、新能源汽车、生物技术、医药行业、航空航天、半导体、医疗技术等行业。

半导体温控装置温度控制装置 可从高温300℃直接制冷降温,低温可达-150℃,控温精度0.5℃智能型控温,性能稳定,应用于石化,医药,生化,冻干,军工等高科技行业……